Контакты:

Галерея оборудования, применяемого в нашей лаборатории:

Мы являемся специалистами по эксплуатации оборудования:

  • Различные оптические микроскопы
  • Ультразвуковые микроскопы
  • Сканирующий электронный микроскоп (SEM)
  • Рабочая станция с фокусированным ионным пучком (FIB)
  • Различные системы травления

Этапы анализа интегральных схем:

Вскрытие корпуса:

Мы имеем различные инструменты и используем современные методы доступа к кристаллу для различных типов корпусов:

Фотографирование кристалла:

Послойное фотографирование
Опыт, накопленный в области химического, плазмохимического травления и полирования кристаллов микросхем, позволяет в условиях нашей лаборатории получать превосходные изображения каждого литографического слоя.

Фотографирование со стороны подложки
Применяя наилучшую технику травления и накопленный опыт, мы можем селективно травить кремний со стороны подложки, оставляя лишь легированную область транзисторов и таким образом получить чёткий образ кристалла с обратной стороны.

Сканирующий электронный микроскоп (SEM)
Это наш ключевой инструмент для восстановления топологии кристалла. Применяя хорошо сфокусированный электронный луч, мы можем получить детальное фотографическое изображение поверхности кристалла субмикронных размеров.

Обработка полученных изображений
В передовых CMOS технологиях применяется многослойная металлизация на основе алюминия (метод химико-механического полирования) и медь (процесс двойного дамаскирования). Таких слоёв может быть 6 и более. Они имеют большую степень заполнения металлизацией и содержат неподключенные проводники, что существенно затрудняет восстановление принципиальной схемы.После цифровой обработки фотографий получим отдельные слои металлизации и межслойных соединений. Объединив эти данные, мы имеем схему соединений отдельных компонентов и блоков интегральной схемы.

Анализ кристалла:
Мы способны провести анализ любых интегральных схем, таких как CMOS. BiCMOS. Bipolar и т.д., изготовленных по различным проектным нормам и неважно, являются ли они цифровыми, аналоговыми или схемами смешанного типа.